Hakuto 全自動離子蝕刻機 MEL3100 產(chǎn)品優(yōu)勢:
1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量
2. 盒式房間采用高效微粒過濾器
3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率
4. 占用空間小
5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人
6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上
7. 高冷卻效果
8. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機
9. 容易維護這個系統(tǒng)設計重點是容易維護和用戶友好
10. 關鍵部件服務伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具