介紹:
① 真空:2.0x10-8Pa;
② 材 質(zhì):316L不銹鋼;
③ 接口法蘭:全部CF刀口法蘭;
④ 表面處理:除油電解拋光處理;
⑤ 腔體尺寸:根據(jù)用戶需求定制。
MBE分子束外延設(shè)備介紹:
分子束外延(MBE)是新發(fā)展起來(lái)的外延制膜方法,也是一種特殊的真空鍍膜工藝。外延是一種制備單晶薄膜的新技術(shù),它是在適當(dāng)?shù)囊r底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長(zhǎng)薄膜的方法。
該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是:使用的襯底溫度低,膜層生長(zhǎng)速率慢,束流強(qiáng)度易于準(zhǔn)確控制,膜層組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。用這種技術(shù)已能制備薄到幾十個(gè)原子層的單晶薄膜,以及交替生長(zhǎng)不同組分、不同摻雜的薄膜而形成的超薄層量子顯微結(jié)構(gòu)材料。