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美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7300

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  • 型號(hào)
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  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-03-26
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量458
  • 人氣值1062
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產(chǎn)品介紹:美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7300 NewView 7300表面輪廓儀以其*的精密度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。測(cè)量過程精密,高
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NewView 7300表面輪廓儀以其*的精密度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。測(cè)量過程精密,高速,非接觸,且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測(cè)量范圍可以從小于1nm至20000μm,基于ZYGO 的掃描技術(shù),無論怎樣的表面形貌,放大倍數(shù)以及臺(tái)階特性,NewView 7300只需一次掃描即可達(dá)到0.1nm的縱向分辨率,并獲得所有的被測(cè)參數(shù)。
美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7300

系統(tǒng)參數(shù):

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,

視場(chǎng)放大倍率:高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

成像放大: 電動(dòng)位系統(tǒng)成像放大

◆視場(chǎng):0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍

◆光源均勻成像,高效率,特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助聚焦)

◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可選更高分辨率992×999

◆樣件觀察專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察

◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦

◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ,NewView81×58×41cm ,防振臺(tái):76X61X61,工作臺(tái):85X132X89cm 

◆重量 :系統(tǒng)重量:約430Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計(jì)算機(jī)帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)

◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:動(dòng)位塔臺(tái);電控 位塔臺(tái);

◆樣品臺(tái):手動(dòng),俯仰(±6°)XY 平移(±50mm),電動(dòng),俯仰(±4°)XY 平移(±76mm)電動(dòng)俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)XY 平移(±76mm) 三種可選

縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm,

縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.369.5μm,與所選物鏡有關(guān),

◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)

◆大數(shù)據(jù)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064;

◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ

◆臺(tái)階測(cè)量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(××長(zhǎng));反射率: 1-99%


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