美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7300 NewView 7300表面輪廓儀以其*的精密度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。測(cè)量過程精密,高速,非接觸,且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測(cè)量范圍可以從小于1nm至20000μm,基于ZYGO 的掃描技術(shù),無論怎樣的表面形貌,放大倍數(shù)以及臺(tái)階特性,NewView 7300只需一次掃描即可達(dá)到0.1nm的縱向分辨率,并獲得所有的被測(cè)參數(shù)。 系統(tǒng)參數(shù): ◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀 ◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器, ◆視場(chǎng)放大倍率:高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0× ◆成像放大: 電動(dòng)3 位系統(tǒng)成像放大 ◆視場(chǎng):0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍 ◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具 ◆控制 :濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助聚焦) ◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可選更高分辨率992×999 ◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察 ◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦 ◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),200mm 行程,0.1μm 精度 ◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,防振臺(tái):76X61X61,工作臺(tái):85X132X89cm ◆重量 :系統(tǒng)重量:約430Kg ◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz ◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī) ◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件 ◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動(dòng)6 位塔臺(tái);電控 6 位塔臺(tái); ◆樣品臺(tái):手動(dòng),俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動(dòng),俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動(dòng), 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY 平移(±76mm) 三種可選 ◆縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm, ◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.36~9.5μm,與所選物鏡有關(guān), ◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān) ◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064; ◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ ◆臺(tái)階測(cè)量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ ◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射 ◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));反射率: 1-99% |