美國ZYGO白光干涉儀8200 NewView 8200系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。 使用zygo的相干掃描干涉技術(shù),NewView 8200系列輪廓儀可以很容易的測量各種材質(zhì)表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。
系統(tǒng)參數(shù): ◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀 ◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器 ◆視場:標(biāo)準(zhǔn)配置:0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍 ◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設(shè)計長壽命白光LED ◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具 ◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦) ◆測量陣列:標(biāo)配1024×1024 像素;可選分辨率:512×512 ◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實時觀察 ◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦 ◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動,100mm 行程,0.1μm 精度 ◆尺寸:系統(tǒng)尺寸:151×73×61cm ,NewView:81×58×41cm ◆重量 :系統(tǒng)重量:約229Kg ◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz ◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機 ◆軟件:ZYGO MX軟件 ◆物鏡座: 標(biāo)配,可快速裝卸單物鏡夾具 ◆物鏡:1X,2X,2.75X,5.5X,10X,20X,50X,100X。 ◆塔臺:手動6位塔臺;電控 64位塔臺; ◆樣品臺:手動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動可選 ◆縱向掃描范圍:150μm,拓展掃描模式可到20mm, ◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.34μm(100X物鏡下) ◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān) ◆大數(shù)據(jù)點: 標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064; ◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ ◆臺階測量 準(zhǔn)確度: ≤ 0.8% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ ◆測樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射 ◆反射率: 0.5-99% ◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長); |