二維光熱掃描顯微鏡(Model PTM-2000),適用于各類固體表面及亞表面缺陷的檢測和分析,特別是各類光學(xué)薄膜、光學(xué)元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動化檢測儀器,可以根據(jù)用戶具體需求進(jìn)行紫外、可見或者近紅外波段的精密檢測和分析。
三維光熱掃描顯微鏡(Model PTM3D-2000),適用于各類光學(xué)元器件及材料體內(nèi)缺陷的三維檢測和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動化檢測儀器。
1、高靈敏度;
2、高重復(fù)精度;
3、一鍵式操作;
4、樣品更換便捷、無需重復(fù)校準(zhǔn);
5、可對吸收缺陷進(jìn)行二維(三維)高分辨率成像;
6、可進(jìn)行樣品或者選定的缺陷點(diǎn)在激光輻照下的穩(wěn)定性分析;
7、泵浦光源:可以標(biāo)配,也可根據(jù)用戶需求選配或者由客戶自配。
光熱掃描顯微鏡 | ||
產(chǎn)品類別 | 二維光熱掃描顯微鏡 | 二維光熱掃描顯微鏡 |
型號 | PTM-2000 | PTM3D-2000 |
檢測靈敏度 | 0.1 ppm | 0.1 ppm |
檢測波長 | 355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長 | 355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長 |
泵浦激光 | 根據(jù)客戶需求配置 | 根據(jù)客戶需求配置 |
橫向空間分辨率 | 在適當(dāng)泵浦光波長條件下可達(dá)亞微米分辨率 | 橫向3 μm,縱向20 μm |
樣品尺寸 | 50 mmx50 mm x10 mm | 50 mmx50 mm x10 mm |
注:可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測試的解決方案。