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  • RFS100 射頻傳感器

RFS100 射頻傳感器

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-03-04
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量319
  • 人氣值363
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RFS100 射頻傳感器
RFS100 射頻傳感器 產(chǎn)品詳情
  • 概述
  • 下載

功能

  • CVD 應(yīng)用

       - 晶片計量建模(薄膜應(yīng)力、薄膜厚度)

       - 對過程腔室提供的真正功率進(jìn)行有功功率控制

       - FDC(例如等離子體不穩(wěn)定性、充電)

       - 腔室匹配(射頻指紋)

  • PVD 應(yīng)用

    - 晶片計量建模(電阻率)

    - FDC

    - 腔室匹配(射頻指紋)

  • 蝕刻應(yīng)用

       - 晶片計量建模(蝕刻速率)

       - 對過程腔室提供的真正功率進(jìn)行有功功率控制

       - FDC

       - 腔室匹配(射頻指紋)

手冊

  • Brochure - RFS100.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
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