- 概述
- 規(guī)格
- 零件號(hào)
功能
- 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
- 超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
- 極快的測量速度:0.125 ms/amu
- MDPP < 10e-16="" mbar="">
涵蓋整個(gè)質(zhì)量范圍的高分辨率:質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)明確地分離
- 超過 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
- 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
- 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器
- IO 選項(xiàng):8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出
- 采用靈活且用戶友好界面的強(qiáng)大軟件
典型應(yīng)用
- 氣體排放質(zhì)譜儀
- 終點(diǎn)檢測
- 沉積材料監(jiān)控
- 二次離子質(zhì)譜儀
規(guī)格
類型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
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質(zhì)量范圍 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
傳感器長度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
桿直徑 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
桿材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
法蘭 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
檢測器類型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
工作壓力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
靈敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
最小可檢測分壓 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
分辨率(可調(diào)) | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
分壓比 | < 0.5=""> | < 0.5=""> | < 0.5=""> | |
工作溫度傳感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
烘烤溫度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
工作溫度電子元件 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
電源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 可用于質(zhì)量范圍:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置
(2) QMA 410 可用于質(zhì)量范圍:1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置
零件號(hào)
QMA 430 | |
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零件號(hào) | 明細(xì) |
490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |