英富康QMG 700 分析質(zhì)譜儀
半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒?yàn)室中,選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測(cè)極限,推動(dòng)工藝**,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計(jì)帶來的性能和適應(yīng)性。利用 QMG 700 增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),獲得出眾的測(cè)量能力。
根據(jù)具體的應(yīng)用要求,選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源,可量身定制QMG 700。QMG 英富康QMG 700 分析質(zhì)譜儀700有超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)測(cè)量量程,達(dá)到ppb 檢測(cè)量級(jí),這種優(yōu)勢(shì)使其成為超高真空測(cè)量的理想選擇。QMG 700 對(duì)整個(gè)質(zhì)量范圍都有很高的分辨率,對(duì)較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對(duì)于某些*具挑戰(zhàn)性的測(cè)量應(yīng)用,如同位素分析,氦和氘分離等,QMG 700是*的選擇。QMG 700 出色的*穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測(cè)量,有效控制您的工藝。
INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和遙遙*的技術(shù),確保QMG 700 成為進(jìn)**體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應(yīng)用專長(zhǎng),您可獲得始終如一的高精度測(cè)量數(shù)據(jù)。
功能
- 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
- 超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
- 極快的測(cè)量速度:0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個(gè)質(zhì)量范圍的高分辨率:質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離
- 超過 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
- 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
- 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器
- IO 選項(xiàng):8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出
- 軟件功能強(qiáng)大,靈活實(shí)用且具友好的用戶界面
QMG 700 分析質(zhì)譜儀 (AMS) 是適合以下應(yīng)用的成熟解決方案:
- 氣體排放質(zhì)譜分析
- 終點(diǎn)檢測(cè)
- 沉積材料監(jiān)控
- 二次離子質(zhì)譜分析