功能
- 模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms
- TCP/IP 以太網(wǎng)連接
- 雙絲極
- 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
- 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
- 較短的傳感器可降低安裝占地面積
- 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
- <2e-15 torr="" 的="" mdpp(100="">2e-15>
- 信噪比更高
- 可調(diào)換傳感器和電子元件
- 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)格
類型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
傳感器長(zhǎng)度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
檢測(cè)器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
最小可檢測(cè)分壓 (4) | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
絲極類型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
絲極類型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
分辨率(整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)) | <1 amu="" wide="">1> | <1 amu="" wide="">1> | <1 amu="" wide="">1> | <1 amu="" wide="">1> | <1 amu="" wide="">1> | <1 amu="" wide="">1> | |
溫度系數(shù) | <1% of="" peak="">1%> | <1% of="" peak="">1%> | <1% of="" peak="">1%> | <1% of="" peak="">1%> | <1% of="" peak="">1%> | <1% of="" peak="">1%> | |
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
零沖擊(@ 質(zhì)量 2) | <5>5> | <5>5> | <65>65> | <65>65> | <100>100> | <100>100> | |
工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
烘烤溫度 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 用于一般應(yīng)用
(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用
(3) 在峰高的 10% 處
(4) 4 秒的停留時(shí)間
附件
MPH100F | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
MPH100M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
MPH200F | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
MPH200M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
MPH300F | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
MPH300M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-021-G1 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
961-021-G2 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G3 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭,帶 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G4 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭 |
961-021-G5 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 15 ft (4.5m) 延長(zhǎng)電纜 |
961-021-G6 | MPH 電源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭,帶有 30 ft (9m) 延長(zhǎng)電纜 |
600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
600-1428-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 15 ft (4.5m) |
600-1429-P1 | 電源延長(zhǎng)電纜 - 30 ft (9m) |
961-417-G1 | 4 端口以太網(wǎng)路由器,帶有 Wi-Fi 按鈕 |
961-418-G1 | 8 端口以太網(wǎng)交換機(jī) |
961-702-G1 | Pirani 聯(lián)鎖套件 |
914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
914-026-G1 | MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器) |
961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
備件
MPH100F | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H1FAS | MPH 傳感器,100 AMU FC (MPH100F),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H1FBS | MPH 傳感器,100 AMU FC (MPH100F),帶有鎢絲 |
MP-H10S | MPH 電子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
MPH100M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H1MAS | MPH 傳感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H1MBS | MPH 傳感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),帶有鎢絲 |
MP-H10S | MPH 電子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-2428-G2 | 電子倍增器更換套件 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-205-G2 | MPH HPR 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
MPH200F | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H2FAS | MPH 傳感器,200 AMU FC (MPH200F),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H2FBS | MPH 傳感器,200 AMU FC (MPH200F),帶有鎢絲 |
MP-H20S | MPH 電子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
MPH200M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H2MAS | MPH 傳感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H2MBS | MPH 傳感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),帶有鎢絲 |
MP-H20S | MPH 電子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-2428-G2 | 電子倍增器更換套件 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-205-G2 | MPH HPR 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
MPH300F | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H3FAS | MPH 傳感器,300 AMU FC (MPH300F),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H3FBS | MPH 傳感器,300 AMU FC (MPH300F),帶有鎢絲 |
MP-H30S | MPH 電子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
MPH300M | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
961-H3MAS | MPH 傳感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),帶有 Y2O3/Ir 絲 |
961-H3MBS | MPH 傳感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),帶有鎢絲 |
MP-H30S | MPH 電子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),帶有以太網(wǎng) |
961-700-G1 | 鍍銥絲套件 |
961-700-G2 | 鎢絲套件 |
961-701-G1 | 鍍依絲離子源 |
961-701-G2 | 鎢絲離子源 |
961-2428-G2 | 電子倍增器更換套件 |
961-416-P1 | 備用 MPH 加熱套 |
914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
961-206-G2 | MPH 延長(zhǎng)套件 |
961-205-G2 | MPH HPR 延長(zhǎng)套件 |
961-022-G1 | 備用 O 形密封圈和螺母套件 |
074-5007-G1 | 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè) CD |
手冊(cè)
其他文件