Transpector MPH 殘余氣體分析儀
持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector
Transpector MPH 殘余氣體分析儀
監(jiān)控您的過程
的性能有助于提高產(chǎn)量并實現(xiàn)長運行時間
持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON Transpector MPH 殘余氣體分析儀
發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、低可檢測分壓和小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
· 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數(shù)據(jù)率
· TCP/IP 以太網(wǎng)連接
· 雙絲極
· 可現(xiàn)場更換電子倍增器
· 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
· 較短的傳感器可降低安裝占地面積
· 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
· <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
· 信噪比更高
· 可調(diào)換傳感器和電子元件
· 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
· 符合 RoHS 標準
