機電薄膜e31測試儀 aix4PB

(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的機電性能是MEMS器件設計的關鍵性能，縱向壓電系數(shù)d33和橫向壓電系數(shù)e31被用于表征傳感器和執(zhí)行器的這些關鍵性能。

縱向壓電系數(shù)可由aixDBLI測試，而橫向壓電系數(shù)e31就可用aix4PB系統(tǒng)測試。

通過必要夾具，可以測得正向e31和逆向e31。

標準的aix4PB系統(tǒng)主要由以下部分組成：四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀。

可以進行如下測試功能：

全部鐵電性能表征，基于TF2000系統(tǒng)，包括極化、電容、漏電流、疲勞測試。

有效橫向壓電系數(shù)的測量通過交替均勻機械力施加于樣品，并測試產(chǎn)生的電荷。

所有的測量數(shù)據(jù)也可以在附加的壓縮或拉伸靜態(tài)負載下進行，這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程。

特點/規(guī)格：

四點彎曲樣品夾具：

產(chǎn)生力的壓電執(zhí)行器

激光測振儀夾具

很容易接觸到頂部和底部的樣品電極

所有的TF2000系統(tǒng)的測試功能 

遠程接入和腳本控制的可選件

單光束激光干涉儀，Z小分辨率1nm

軟件：

Windows 7 操作系統(tǒng)

通過GPIB或以太網(wǎng)的遠程接入和腳本控制

通過ODBC接口的數(shù)據(jù)庫連接

測試數(shù)據(jù)通過ASCII形式輸出

測試數(shù)據(jù)交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer