產(chǎn)品型號：SuperView WX 100

• 產(chǎn)品名稱：白光干涉測頭

• 光源：白光LED

• 干涉物鏡：10×，（ 20×，50×）

• 標(biāo)準(zhǔn)視場：0.98×0.98mm

• 外形尺寸：230*200*380mm

• 水平調(diào)整：±2°電動

• Z向行程：30mm

• Z向掃描范圍：10mm（視具體鏡頭而定）

• Z向分辨率：0.1nm

• 主要特點(diǎn)：便攜可搭載 一鍵批量分析

1、測量功能：能夠?qū)崿F(xiàn)樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；

2、分析功能：能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù)；

3、編程功能：支持預(yù)配置數(shù)據(jù)處理和分析工具步驟，一鍵完成測量到分析全過程；

4、批量分析：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

　對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差

1、便攜可搭載 *懸臂式結(jié)構(gòu)，可方便地搭載在各類龍門架構(gòu)水平位移平臺上，通過軟件接口的連接，即可構(gòu)成一臺可自動測量的超高級精度的光學(xué)3D表面輪廓儀；

2、復(fù)合型掃描算法 結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移掃描重建算法，能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品，一鍵掃描，無須切換算法；

3、防撞保護(hù)功能 Z向防撞傳感器，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，不再下移；