產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1-Pro
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY位移平臺(tái):尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動(dòng)
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測(cè)樣品反射率:0.05%-99%
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、快速高效
一體化操作的測(cè)量與分析軟件,操作無須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能。
分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC |
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3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差 |
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超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片 |
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精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度 |
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復(fù)合材料測(cè)量 | 西華大學(xué)水機(jī)葉片磨損檢測(cè) |
清華大學(xué)超光滑陶瓷樣件測(cè)量 | 北航超疏水表面形貌檢測(cè) |