日本理音RION KL-04光滲透粒子計數器
RION/日本理音液體粒子計數器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
特點優(yōu)勢
可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
技術參數
光源 鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:3mW)
接觸樣品的部件材料 取樣管：可溶性聚四氟，傳感器部分：人造石英，可溶性聚四氟
取樣泵 乙烯（氟橡膠）硼硅酸監(jiān)玻璃，樣品容器：聚甲醛
流量 25ml/分鐘（10 ml/分鐘為工廠定制）
測量范圍 可任意選自1-20個通道
最多粒子數量 100000顆/ml（誤差值低于10%）
電源 100V-240V AC,50/60Hz 100VA
尺寸.重量 363(H)×360(W)×236 (D) mm,大約:13kg
應用范圍
