Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度*的環(huán)境中工作。另外,可通過遠(yuǎn)程機(jī)架控制器或泵機(jī)一體式控制器來驅(qū)動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
1、為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
2、極快的抽速和高氣體通量
3、耐用型的設(shè)計(jì)和高效運(yùn)行的冷卻系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行
4、能夠保護(hù)軸承的氣體吹掃
5、機(jī)架式 Navigator 控制器的樣品架類型
6、通用電子器件接口和操作簡單的控制軟件
7、模擬 I/O 信號和 RS232/RS485 接口(為標(biāo)準(zhǔn)Agilent Profibus 接口選項(xiàng))
渦輪分子泵應(yīng)用范例
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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技術(shù)規(guī)格
抽速: ISO 160: ISO 200: | Ar:750 L/s Ar:1040 L/s | N2:810 L/s N2:1080 L/s | He:950 L/s/ He:1150 L/s | H2:680 L/s H2:730 L/s |
壓縮比: | Ar:5 × 108 | N2:5 × 107 | He:4 × 104 | H2 1.5 × 104 |
極限真空*(使用推薦的前級泵) | < 1 × 10-10 mbar | |||
入口法蘭 | ISO 160F,ISO 200F | |||
前級管道法蘭 ISO 160: ISO 200: | KF 25 NW KF 40 NW | |||
額定轉(zhuǎn)速 | 45500 rpm | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | < 5 分鐘 | |||
推薦的最小前級泵 | > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602) | |||
工作位置 | 任意位置 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
烘烤溫度 | 入口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭) | |||
振動(dòng)參數(shù)(位移) | 在入口法蘭處小于 0.01 μm | |||
冷卻要求 | 水 | |||
電源 輸入電壓:100-240 Vac 運(yùn)行功率: | < 輸入頻率:50-60 Hz 使用氮?dú)夂洼p質(zhì)氣體(水冷設(shè)置)時(shí)為 400 W 使用氬氣(風(fēng)冷設(shè)置)時(shí)為 260 W | 輸入功率:600 VA | 待機(jī)功率:30 至 35 W | |
保險(xiǎn)絲(Navigator 控制器) | 1 × 6.3 A | |||
串行通信(Navigator 套件) | RS232 電纜,9 針 D 型 | 外插頭和 9 針 D 型插口,以及 Navigator 軟件(可選) | ||
儲(chǔ)存溫度 | -20 °C 至 +70 °C | |||
重量 | 26.8 kg(59.1 磅) |
* 根據(jù)德國工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428。
Turbo-V 1K-G 外形圖
Turbo-V 1K-G 抽速與入口壓力關(guān)系圖
Turbo-V 1K-G 壓縮比與前級壓力關(guān)系圖