Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件,從而能延長(zhǎng)工作壽命,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性:
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對(duì)小分子氣體的高壓縮比實(shí)現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)占用空間。
2.高前級(jí)耐壓 — 允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)、低噪音和更好的軸承工作條件可延長(zhǎng)泵的使用壽命,從而實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡(jiǎn)便性達(dá)到,可在泵的操作條件下達(dá)到更好通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應(yīng)用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用:
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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性能指標(biāo) :
抽速: | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 (空氣溫度 25 °C) | 水冷 (水溫 15 °C/室溫 25 °C) | |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
He | |||
噪音壓力級(jí)別 (全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處) | 43 dB(A) |