產品介紹
FMA-A2000系列OMEGA氣體質量流量計和控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量??梢酝ㄟ^內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。
FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表, FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。精度為±1%、線性模擬輸出、成本低、采用熱感技術、可測量高達100 SLM的流量、內含電源。
該氣體質量流量計和控制器性能出眾、 功能多樣、設計*、外形緊湊。FMA-A2000氣體質量流量計和控制器利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。
FMA-A2000系列OMEGA氣體質量流量計和控制器技術參數(shù)
精度:滿量程的±1%(包括線性度)
重復性:滿量程的±0.15%或者更佳
量程比:100:1
響應時間:5秒
氣體環(huán)境溫度:0~50°C(32~122°F)
溫度系數(shù):每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數(shù):每psi為滿量程的0.01%或更佳
低壓力要求:
流量計:1英寸水柱
大流速為1 SLM的控制器:1 psi
流速大于20 SLM的控制器:20 psi
質量流量控制器的壓差:<5 LPM,5~50 psi(標準)
>5 LPM,20~40 psi(標準)
氣體大壓力:
聚甲醛:250 psig
316不銹鋼:500 psig
泄漏完整性:1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件:
標配:聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配:316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口:¼FNPT(標配);
¼"壓合接頭(適用于所有不銹鋼型號流量計)
輸入/輸出連接口:9針sub-D連接器
控制信號:0~5 Vdc
控制閥:常閉電磁閥
輸出信號:線性0~5 Vdc(小負載1000?),4~20 mA(環(huán)路電阻500?)
安裝螺紋:
316不銹鋼殼體:6⁄32"螺紋
聚甲醛材料:#4/6自攻螺絲
輸入電源:
流量計:24 Vdc 150 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
控制器:24 Vdc 300 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
外形尺寸:參見圖紙
重量:1.25 kg(2.75 lb)(含電源)
注:配備操作手冊、9針sub-D連接器、電源及NIST校準(無數(shù)據點)。