美國OMEGA電子質量流量計
FMA5400A/5500A系列電子氣體質量流量計可控制0~10 SCCM范圍內高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量,可提供直接的氣體質量流量測量值,并且無需對(規(guī)定限值以內的)氣體溫度或壓力進行補償。 該產品可提供經(jīng)濟型鋁/銅結構,適合測量普通氣體流量,同時可提供316不銹鋼結構,適合有更高耐腐蝕要求的應用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出,以便進行遠程監(jiān)測;FMA5500A系列流量計兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度,查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準,可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量(您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準)。
FMA5400A/5500A質量流量控制器具有內置常閉電磁閥,無論入口壓力或出口壓力如何變化,都能保持流量恒定。設定值可通過電位計(電位計可通過外殼中的訪問窗口訪問)進行本地控制,也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號(現(xiàn)場可選)遠程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源(*大電流800 mA),F(xiàn)MA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA*大值(僅限43、44、45的規(guī)格)。型號為FMA545C(單獨提供)的配件提供配接式15針""D""型連接器,帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設備相連。通過購買FMA18RC遠程電纜組件可以遠程安裝LCD,之后,您必須自行組裝組件以便進行LCD的面板安裝。美國OMEGA電子質量流量計
產品規(guī)格
精度:對于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置,在15~25°C(59~77°F)和
0.7~4.2 kg/cm2(10~60 psia)下具有線性度。對于≥100 SLM的裝置,滿量程:±1.5% FS,在15~25°C(59~77°F)和 0.7~4.2 kg/cm2(10~60 psia)下在20~100%的范圍內具有線性度;在0~20%的范圍內為±3% FS。
重復性:± 0.5%滿量程
溫度系數(shù):0.15% FS/°C
壓力系數(shù):每psi 0.01%FS(0.07 bar)
*大壓降:50 psid
響應時間:在25%~100%FS范圍內,5秒處于設定流量的±2%范圍內
*大氣壓:70 kg/cm2表壓(1000 psig)(適用于*高100 SLM的裝置); 35 kg/cm2表壓(500 psig);*佳1.76 kg/cm(25 psig)
氣體和環(huán)境溫度:5~50°C(41~122°F)
泄露率:對外界環(huán)境的*大泄漏率為1×10-7 cc/sec氦氣
接液材質:
鋁制流量計:陽極氧化鋁,316 SS,黃銅和FKM O形圈
不銹鋼型號:316 SS 和 FKM O型圈
輸出信號:
線性0~5 Vdc:1000 Ω*小負載
4~20 mA:50~500 Ω 環(huán)路電阻,±20 mV *大噪聲
傳感器電源:12~26 Vdc @ 800 mA 標準 量程比:40:1
裝運重量:1.8 kg (4 lb)
合規(guī)性:EN55011 1類,B類;EN50082-1
海拔靈敏度:水平流徑,傾斜到20°,校準也不會發(fā)生偏移
氣體相對濕度:0~70% RH
*小壓降