標(biāo)稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究流場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的,它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實(shí)驗(yàn)工況。傳統(tǒng)的用毛細(xì)管引出壓力用掃描閥巡測(cè)的方式,因毛細(xì)管頻響的損失而測(cè)得的為穩(wěn)態(tài)流場(chǎng)分布?,F(xiàn)場(chǎng)直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動(dòng)態(tài)流場(chǎng)分布。
CYG507的壓力敏感元件采用*的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)(低微壓)和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)(超微壓)使得壓力敏感元件實(shí)現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得,應(yīng)力互補(bǔ)設(shè)計(jì)和無應(yīng)力微封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。
CYG507為表差壓型,有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產(chǎn)品量程2.5kpa以上的外徑為6mm,2.5kpa以下的量程的外徑為8mm,長(zhǎng)度均為18mm,螺紋型的螺紋為M10×1。外形見附圖。
CYG507采用敏感元件反面承壓,因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG507采用準(zhǔn)齊平無管腔的封裝設(shè)計(jì),因此有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性,可用頻率即使是低量程500pa的品種可達(dá)1000Hz以上。
CYG507的可選量程為0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。
1、性能指標(biāo)參數(shù)
指標(biāo)/檔級(jí) | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時(shí)漂 <mv/8h |
JA | 0.5 | 0.2 | 5 | 5 | 0.3 |
JB | 0.2 | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 |
2、滿量程輸出: 小值20mv 典型值60mv 大值100mv
3、輸入輸出阻抗:小值2 kΩ 典型值5 kΩ 大值8kΩ
4、輸入工作電流:2mA或1.5mA
5、工作溫度范圍:-40℃~+105℃
6、補(bǔ)償溫度范圍:-10℃~+60℃
7、過載能力: 額定量程的300%
8、外形尺寸圖: