CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中超薄形模型上下表面壓力場分布設(shè)計的，是CYG511的改進(jìn)型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大，厚度很小，不能或不容易挖坑貼埋，只能貼于表面的工況設(shè)計的。1mm左右的厚度使其對流場的影響減小到很小的程度。
CYG512使用了CYG511同樣的*的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片，具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學(xué)特性。由于精密設(shè)計與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時，也就大大減小了敏感元件與傳感器進(jìn)壓殼體封裝空間的容積，將淺型管腔對動態(tài)頻響的影響減至小，因此它具有優(yōu)良的動態(tài)特性。
CYG512標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000ka。
CYG512的有兩種外形尺寸，一種為薄扣形，ф8 mm直徑，總厚度為1.2 mm；一種為薄條片形，6×10×1mm引出線均為4mm寬，0.15mm厚，1m長柔性引線。薄扣形為不銹鋼結(jié)構(gòu)，上表面超薄不銹鋼薄膜上有激光鉆刻的均布式和螺旋線形進(jìn)氣篩孔。薄條式無頂蓋，僅在貼裝敏感元件處復(fù)蓋很薄的有機(jī)硅保護(hù)膜，用戶可接自己的實用工況需求進(jìn)行選擇。
1、性能指標(biāo)參數(shù)：
| 指標(biāo)/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 小值30mv 典型值80mv 大值130mv
3、輸入輸出阻抗：小值3 kΩ 典型值5 kΩ 大值7 kΩ
4、輸入工作電流：1.5 mA（表壓型） 1mA（絕壓型）（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃
6、補償溫度范圍：-10℃～+80℃
7、過載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖：
