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  • 1200℃滑動式單、雙、三溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐

1200℃滑動式單、雙、三溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-11-28
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量75
  • 人氣值3875
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產(chǎn)品用途:此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。
1200℃滑動式單、雙、三溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐 產(chǎn)品詳情

   

 

產(chǎn)品用途:

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

 

產(chǎn)品組成:

CVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。

2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)    

 

產(chǎn)品特點:

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司*的知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計,提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。

4 (電動)滑動系統(tǒng)采用溫度控制器自動控制爐體移動,等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動,因有滑動限位功能爐體不會發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

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