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  • 1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐

1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2020-11-28
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量75
  • 人氣值3875
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我公司創(chuàng)立于1993年,經(jīng)過(guò)了近20年的發(fā)展,公司已成為一家集研發(fā)、生產(chǎn)制造、營(yíng)銷(xiāo)服務(wù)為一體的專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室電爐工作系統(tǒng)解決方案的提供者。作為專業(yè)實(shí)驗(yàn)室電加熱設(shè)備的生產(chǎn)廠家,在實(shí)驗(yàn)室電爐行業(yè)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)一直保持著*地位,并成為*品牌。真空氣氛管爐 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛 我們的經(jīng)營(yíng)理念是:專業(yè)、誠(chéng)信、負(fù)責(zé)、顧客*、銳意進(jìn)取。我們的經(jīng)營(yíng)目標(biāo)是:打造具有品牌的、專業(yè)為用戶提供實(shí)驗(yàn)室電爐工作系統(tǒng)解決方案的百年企業(yè)公司主要產(chǎn)品:實(shí)驗(yàn)用真空/氣氛電爐系列、主要面向國(guó)內(nèi)高校實(shí)驗(yàn)室以及*科研機(jī)構(gòu),各系列產(chǎn)品行銷(xiāo)國(guó)內(nèi)的大專院校、科研院所、工礦企業(yè)的實(shí)驗(yàn)室及各級(jí)檢測(cè)中心。真空氣氛管爐 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐真空氣氛管爐 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐真空氣氛管爐 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐 我們的產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng),同時(shí)也部分出口海外。國(guó)內(nèi)眾多的個(gè)大院校、*科研院所、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室等,如:清華大學(xué),北京大學(xué),北京化工大學(xué),北京理工大學(xué),中國(guó)礦業(yè)大學(xué),*民族大學(xué),北京航空航天大學(xué),首都師范大學(xué),中國(guó)地質(zhì)大學(xué),中國(guó)人民大學(xué),南開(kāi)大學(xué),天津大學(xué),中國(guó)民航大學(xué),天津科技大學(xué),天津理工大學(xué),天津商業(yè)大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué),華東理工大學(xué),中山大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),福州大學(xué),廈門(mén)大學(xué),中國(guó)科技大學(xué),復(fù)旦大學(xué),華南理工大學(xué),上海交通大學(xué),蘭州大學(xué),燕山大學(xué),中國(guó)石油大學(xué),真空氣氛管爐 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐山東大學(xué),武漢科技大學(xué),華中科技大學(xué),武漢大學(xué),黑龍江大學(xué),吉林大學(xué),大連理工大學(xué),四川大學(xué) ,首都鋼鐵公司,武漢鋼鐵公司,天津鋼鐵公司,*大連化學(xué)物理研究所,*化學(xué)研究所,*物理研究所,*理化技術(shù)研究所,*工程與過(guò)程所,*生態(tài)環(huán)境研究中心,國(guó)家納米科學(xué)中心,北京有色金屬研究總院等等上百所高校、科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系。CVD系統(tǒng),真空氣氛管式爐,旋轉(zhuǎn)管式爐,多工位回轉(zhuǎn)爐,箱式馬弗爐,快速退火爐,立式管式爐,干燥箱,高溫氣氛箱式爐,中環(huán)實(shí)驗(yàn)電爐CVD爐/rtp爐/快速退火爐/立式管式電爐/石磨希*爐/快速激活爐/粉體電爐/快速熱氧化爐/速激活爐/粉體電爐/快速熱氧化爐/管式電爐/箱式電爐氣氛/ 旋轉(zhuǎn)電爐/真空氣氛 /CVD電爐/真空氣氛爐/旋轉(zhuǎn)電爐立式管爐 /快速退火爐 /真空管式爐/多工位旋轉(zhuǎn)管式爐/多工位回轉(zhuǎn)爐/半導(dǎo)體CVD/真空鍍膜/高溫管式爐/PE CVD系統(tǒng)/干燥箱/中環(huán)馬弗爐CVD系統(tǒng),CVD石墨烯爐,CVD管式爐,快速退火爐,真空管式爐,旋轉(zhuǎn)管式爐,多工位回轉(zhuǎn)爐,氣氛箱式爐,立式管式爐,干燥箱,RTP管式爐,馬弗爐,CVD制備石墨烯,氣相沉積爐,高溫?zé)Y(jié)爐,立式電爐,熱處理爐,箱式電阻爐,真空爐,真空燒結(jié)爐
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產(chǎn)品用途:此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)-電阻爐 產(chǎn)品詳情

   

 

產(chǎn)品用途:

此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品組成:

此款CVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū))。

2.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

3.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)     

產(chǎn)品特點(diǎn):

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司*的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵

 防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

系統(tǒng)名稱

1200℃單/雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

CVD-12II-3Z/G

CVD-12II6-3Z/G

溫度

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

420mm

600mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

280mm

390mm

溫區(qū)

雙溫區(qū)

雙溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

額定功率

3.2Kw

4.8Kw

額定電壓

220V

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫;

控制精度

±1℃

爐管工作溫度

<1200℃

氣路法蘭

密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù),在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)

氣路數(shù)量

3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

規(guī)格

高真空

系統(tǒng)真空范圍

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定電壓220V    功率2KW

真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V  功率2KW

 

 

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統(tǒng)外形尺寸

530x1440x750mm(不含高真空)

系統(tǒng)總重量

330kg

 

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