微型部件與薄膜毛細(xì)管鍍層測(cè)厚儀

使用新開(kāi)發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外，以X射線檢測(cè)結(jié)構(gòu)為中心，對(duì)各類(lèi)元件進(jìn)行優(yōu)化，從而大幅提高了檢測(cè)靈敏度，在不損失檢測(cè)精度的前提下實(shí)現(xiàn)了的高處理能力。

并且，對(duì)設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，使得樣本室的使用，以及對(duì)檢測(cè)點(diǎn)的檢查變得更為容易。 

X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT150系列 特長(zhǎng)

1．顯微領(lǐng)域的高精度檢測(cè)

通過(guò)采用新開(kāi)發(fā)的多毛細(xì)管，以及對(duì)探測(cè)器的優(yōu)化，在實(shí)現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號(hào)FT9500X為30 μm（設(shè)想FWHM： 17 μm）的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。

2．兼顧易操作性與安全性

放大了開(kāi)口，同時(shí)樣本室的門(mén)也可單手輕松開(kāi)閉。從而提高了取出、放入檢測(cè)樣本的操作簡(jiǎn)便性，并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，讓用戶(hù)放心使用。

3．產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類(lèi)檢測(cè)樣本

針對(duì)檢測(cè)樣本的不同種類(lèi)，可在下列3種型號(hào)中進(jìn)行選擇。

?測(cè)量引線架、連接器等各類(lèi)電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號(hào)

?能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號(hào)

?適合對(duì)陶瓷芯片電極部分中，過(guò)去難以同時(shí)測(cè)量的Sn/Ni兩層進(jìn)行高能測(cè)量的型號(hào)

4．清晰的樣本圖像

使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭，采用全數(shù)碼變焦，從而消除位置偏差，可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。

另外，亦采用LED作為樣本觀察燈，無(wú)需像以往的機(jī)型那樣對(duì)燈泡進(jìn)行更換。

5．檢測(cè)部位可見(jiàn)

通過(guò)設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局，使得樣本室門(mén)在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測(cè)部位。

X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT150系列 規(guī)格

型號(hào) FT150

測(cè)量元素 原子序數(shù)13（Al）～92（U）

X射線源 管電壓：45 kV

靶材 Mo靶 W靶

檢測(cè)器 Si半導(dǎo)體檢測(cè)器（SDD）（無(wú)需液氮）

X射線聚光 聚光導(dǎo)管方式

樣品觀察 CCD攝像頭（100萬(wàn)像素）

對(duì)焦 激光對(duì)焦、自動(dòng)對(duì)焦

大樣品尺寸 400(W) × 300(D) × 100(H) mm

工作臺(tái)行程 400(W) × 300(D) mm

操作系統(tǒng) 電腦、22英寸液晶顯示屏

測(cè)量軟件 薄膜FP法（多5層膜、10元素）、檢量線法、定性分析

數(shù)據(jù)處理 Microsoft Excel、Microsoft Word 安裝

安全功能 樣品門(mén)聯(lián)鎖

消耗電量 300 VA以下

選購(gòu)項(xiàng)

?能譜匹配軟件（材料辨別）

?塊體FP（測(cè)量金屬成分比）

?樣品操作限制設(shè)置

?晶圓治具（FT150／FT150h）

?觸摸板

?信號(hào)燈

?打印機(jī)

?緊急停止開(kāi)關(guān)箱

微型部件與薄膜毛細(xì)管鍍層測(cè)厚儀