使用新開發(fā)的X射線聚光用多毛細管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外,以X射線檢測結(jié)構(gòu)為中心,對各類元件進行優(yōu)化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現(xiàn)了的高處理能力。并且,對設(shè)備進行了重新設(shè)計,使得樣本室的使用,以及對檢測點的檢查變得更為容易。
X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT150系列 特長
1.顯微領(lǐng)域的高精度檢測
通過采用新開發(fā)的多毛細管,以及對探測器的優(yōu)化,在實現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm(設(shè)想FWHM: 17 μm)的基礎(chǔ)上,進一步將處理能力提高到了2倍以上。
2.產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類檢測樣本
針對檢測樣本的不同種類,可在下列3種型號中進行選擇。
· 測量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號
· 能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號
· 適合對陶瓷芯片電極部分中,過去難以同時測量的Sn/Ni兩層進行高能測量的型號
3.兼顧易操作性與安全性
放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險,讓用戶放心使用。
4.檢測部位可見
通過設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測部位。
5.清晰的樣本圖像
使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數(shù)碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。
另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無需像以往的機型那樣對燈泡進行更換。
6.新GUI
· 將各類檢測方法、檢測樣本都以應(yīng)用程序圖標的形式進行了登記。圖標皆為檢測樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進行檢測。
· 使用檢測向?qū)Т翱趤碇笇?dǎo)操作。通過與檢測畫面聯(lián)動,逐步引導(dǎo)用戶執(zhí)行當(dāng)前所需進行的工作。
X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT150系列 規(guī)格
型號 | FT150(標準型) | FT150h(高能量型) | FT150L(大型線路板對應(yīng)) |
測量元素 | 原子序數(shù)13(Al)~92(U) | ||
X射線源 | 管電壓:45 kV | ||
Mo靶 | W靶 | Mo靶 | |
檢測器 | Si半導(dǎo)體檢測器(SDD)(無需液氮) | ||
X射線聚光 | 聚光導(dǎo)管方式 | ||
樣品觀察 | CCD攝像頭(100萬像素) | ||
對焦 | 激光對焦、自動對焦 | ||
大樣品尺寸 | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 600(W) × 600(D) × 20(H) mm |
工作臺行程 | 400(W) × 300(D) mm | 400(W) × 300(D) mm | 300(W) × 300(D) mm |
操作系統(tǒng) | 電腦、22英寸液晶顯示屏 | ||
測量軟件 | 薄膜FP法(多5層膜、10元素)、檢量線法、定性分析 | ||
數(shù)據(jù)處理 | Microsoft Excel、Microsoft Word 安裝 | ||
安全功能 | 樣品門聯(lián)鎖 | ||
消耗電量 | 300 VA以下 |
選購項
· 能譜匹配軟件(材料辨別)
· 塊體FP(測量金屬成分比)
· 樣品操作限制設(shè)置
· 晶圓治具(FT150/FT150h)
· 觸摸板
· 信號燈
· 打印機
· 緊急停止開關(guān)箱