脈沖激光熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),可測(cè)量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),如熱擴(kuò)散系數(shù)(Thermal Diffusivity)、熱導(dǎo)率(Thermal Conductivity)、吸熱 系數(shù)(Thermal Effusivity)和界面熱阻。
由于激光閃射時(shí)間僅為納秒(ns)量級(jí),甚至可達(dá)到皮秒(ps)量級(jí),此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm的薄膜。同時(shí),系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式,以適應(yīng)于不同的基片情況(透明/不透明)。
該方法符合標(biāo)準(zhǔn):
JIS R 1689:通過脈沖激光熱反射方法測(cè)量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù);
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測(cè)量方法。
發(fā)展簡史脈沖激光熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀
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