TTS-2000 SORTER潔凈機器人
描述：一體化程度高，自動化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風(fēng)扇 過濾系統(tǒng)，可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu)，從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運行……
TTS-2000 SORTER潔凈機器人描述：一體化程度高，自動化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風(fēng)扇 過濾系統(tǒng)，可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu)，從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運行……
簡介TTS-2000 SORTER潔凈機器人
Introduction
SORTER是一個工廠材料傳輸設(shè)備，是一個與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小，采用無X軸的雙臂機械手，通過雙軸復(fù)合運動實現(xiàn)取放片，*的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù)，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設(shè)備的安全。
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參數(shù)
Parameter
整機設(shè)計參照標(biāo)準(zhǔn) Machine Design reference standard | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 |
|---|---|
軟件界面設(shè)計參考標(biāo)準(zhǔn) User Interface Design reference standard | SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116 |
| 生產(chǎn)量Throughput | >150wfrs/h |
| 顆粒規(guī)格Particle Spec | Class 1 |
| Wafer放置精度Placement accuracy X-Y | ±0.1mm |
| 晶圓尺寸Wafer size | 300mm |
| 平臺尺寸（L×W×H） | 1120mm×662mm×1923mm |
| 重量Weight | ≤500KG |
