項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
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產(chǎn)地 | 日本 |
測(cè)定元素范圍 | 鈦(22Ti)~鉍(83Bi) |
樣品型態(tài) | 固體、液體皆可 |
X射線源 | 管電壓: 50 kV 管電流:1mA(40~1000μA自動(dòng)調(diào)整ZUI適電流輸出) |
X射線照射方向 | 上方垂直照射型 |
檢測(cè)器 | 高強(qiáng)度正比例計(jì)數(shù)器 |
冷卻方式 | 電子冷卻(不需液態(tài)氮) |
準(zhǔn)直器(分析區(qū)域) | 0.1、0.2 mmφ(自動(dòng)切換) |
樣品觀察 | 高解析彩色CCD鏡頭 |
樣品ZUI大可分析范圍 | 【固定】535×530 mm 【電動(dòng)】260 mm x 210 mm(移動(dòng)量250 mm (X);200 mm (Y)) 【樣品ZUI大高度】150 mm |
儀器尺寸 | 600 (W) × 815 (D) × 675 (H) mm |
掃描分析功能 | ■ 自動(dòng)樣品平臺(tái) ■ 高解析彩色CCD鏡頭 ■ 廣域(狹域)觀察系統(tǒng) ■ 雷射自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) ■ 掃描路徑紀(jì)錄系統(tǒng) |
定性分析功能 | ■ 元素分析 ■ 能譜比對(duì) |
定量分析功能 | ■ 電鍍膜厚測(cè)定 ■ 薄膜分析檢量線法(可針對(duì)單層、雙層或是多元合金單層膜厚) ■ 薄膜分析FP法(ZUI高一次分析五層) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | ■ FT系列專用桌上型Dell計(jì)算機(jī)(含液晶屏幕、鼠標(biāo)、鍵盤) ■ 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理系統(tǒng) ■ 儀器硬件確認(rèn)片一組(含強(qiáng)度、能量、分辨率及光徑校正) |
可加購選項(xiàng) | ■ 微小準(zhǔn)直器0.05、0.025 × 4 mmφ ■ 操作游戲桿 ■ 大型印刷電路板專用平臺(tái) ■ 金屬電鍍膜厚標(biāo)準(zhǔn)品 ■ 油壓機(jī)與制錠機(jī) |
設(shè)置需求 | ■ 建議桌面尺寸:1500 (W) × 1000 (D) mm ■ 使用電源:AC100~240V(50~60Hz)/400VA |