效率、性能與價格，三大優(yōu)勢同步
? 3秒鐘完成一筆測試
? 10秒鐘即可完成50nm薄金（Au）金屬電鍍膜厚分析
? 相比他牌與過往機種，價格降低20%以上
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)地 | 日本 |
| 測定元素范圍 | 鈦（22Ti）～鉍（83Bi） |
| 樣品型態(tài) | 固體、液體皆可 |
| X射線源 | 管電壓： 50 kV 管電流：1mA（40～1000μA自動調(diào)整ZUI適電流輸出） |
| X射線照射方向 | 上方垂直照射型 |
| 檢測器 | 高強度正比例計數(shù)器 |
| 冷卻方式 | 電子冷卻（不需液態(tài)氮） |
| 準直器（分析區(qū)域） | 0.1、0.2 mmφ（自動切換） |
| 樣品觀察 | 高解析彩色CCD鏡頭 |
| 樣品ZUI大可分析范圍 | 【固定】535×530 mm 【電動】260 mm x 210 mm（移動量250 mm (X)；200 mm (Y)） 【樣品ZUI大高度】150 mm |
| 儀器尺寸 | 600 (W) × 815 (D) × 675 (H) mm |
| 掃描分析功能 | ■ 自動樣品平臺 ■ 高解析彩色CCD鏡頭 ■ 廣域（狹域）觀察系統(tǒng) ■ 雷射自動對焦系統(tǒng) ■ 掃描路徑紀錄系統(tǒng) |
| 定性分析功能 | ■ 元素分析 ■ 能譜比對 |
| 定量分析功能 | ■ 電鍍膜厚測定 ■ 薄膜分析檢量線法（可針對單層、雙層或是多元合金單層膜厚） ■ 薄膜分析FP法（ZUI高一次分析五層） |
| 標準配件 | ■ FT系列專用桌上型Dell計算機（含液晶屏幕、鼠標、鍵盤） ■ 數(shù)據(jù)統(tǒng)計處理系統(tǒng) ■ 儀器硬件確認片一組（含強度、能量、分辨率及光徑校正） |
| 可加購選項 | ■ 微小準直器0.05、0.025 × 4 mmφ ■ 操作游戲桿 ■ 大型印刷電路板專用平臺 ■ 金屬電鍍膜厚標準品 ■ 油壓機與制錠機 |
| 設(shè)置需求 | ■ 建議桌面尺寸：1500 (W) × 1000 (D) mm ■ 使用電源：AC100～240V（50～60Hz）/400VA |
