31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥
31200 系列真空閘閥有個正面的開關(guān), 這種閥門真空閘閥能夠在隨壓力下降而電力丟失的情況下保持關(guān)閉的狀態(tài). 真空閘閥直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。*的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到小. 這些真空閘閥真空腔內(nèi)沒有機械鎖,這樣此就非常有益于半導(dǎo)體制造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 真空閘閥所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易. HVA 真空閘閥不銹鋼閥體提供了真空閥門業(yè)小的內(nèi)部表面區(qū)域. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規(guī)狀態(tài)下焊接出現(xiàn)的閥體變形的可能小化了. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥特點
1. 硬化不銹鋼軸驅(qū)動軸和驅(qū)動銷
2. 氣動驅(qū)動
3. 不銹鋼焊接波紋管
4. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
5. 電磁閥控制并帶有手動操控
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 304 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN16-DN600 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《200℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動方式： | 電動氣動 |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數(shù) |
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥應(yīng)用
這些真空閘閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環(huán),少量維修保養(yǎng)和緊閉關(guān)閉的低漏氣閥門.
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥部件圖
