21800系列閉合回路真空節(jié)流閥
21800系列閉合回路氣動節(jié)流閘閥節(jié)流閥利用標準的 HVA21200系列真空閥門設(shè)計外加一個金屬節(jié)流調(diào)節(jié)裝置. 這個節(jié)流調(diào)節(jié)裝置包括了一個MKS 146C 真空規(guī)格測量和控制系統(tǒng)、歐姆龍模擬型光纖傳感器和放大器、一個氣動壓力控制器和一個超大尺寸的 HVA 壓差執(zhí)行裝置. *的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到小. 這些真空閘閥真空腔內(nèi)沒有機械鎖,這樣此就非常有益于半導(dǎo)體制造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易. 這個系統(tǒng)在一個閉合回路中通過監(jiān)測閥門的實際位置和系統(tǒng)的壓力和電導(dǎo)來操作。在壓力/電導(dǎo)模式下, 這個真空閥門開啟或者關(guān)閉直到MKS流量或壓力表監(jiān)控到需要的系統(tǒng)達到氣流量. 除了控制閥門, MKS 控制器可以監(jiān)控兩個計量表. 在真實位置模式, 閥門驅(qū)動器活塞式被歐姆龍傳感器監(jiān)控的. 傳感器信號發(fā)送到 MKS 控制器, 然后相應(yīng)的與所需要的閥位到啟動壓力控制器. 壓力控制器控制壓差適用于控制活塞按照要求的方向移動.
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品特點
1. zhuanli的節(jié)流控制機構(gòu)可以無限的從全開到全關(guān)變化
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標準或者定制法蘭
4. 1000000使用周期(視系統(tǒng)而定)
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN100-DN300 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-10 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000使用周期 |
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品應(yīng)用
這些真空閘閥節(jié)流閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環(huán),少量維修保養(yǎng)和緊閉關(guān)閉的低漏氣閥門.
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品部件圖
