28200＆88200系列矩形真空板閥
28200＆88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
28200＆88200系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超百萬次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
28200＆88200系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 304 不銹鋼/ AM-350 |
公稱通徑： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動(dòng)方式： | 氣動(dòng) |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數(shù) |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖
DN | Model |
|
| |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
28200＆88200系列矩形真空板閥部件圖
