羅茨泵機(jī)組 - 干式、油式的多級(jí)泵
羅茨泵與多級(jí)前級(jí)泵相結(jié)合。該泵站的高抽速使得較高的極限壓力成為現(xiàn)實(shí)。
干式羅茨泵站是面向高要求工藝（例如半導(dǎo)體行業(yè)）的解決方案。減少了保護(hù)設(shè)備的泵站可用于需求稍松的工藝，例如裝載互鎖應(yīng)用，或在濺射工藝中用作前級(jí)泵。從小真空室到太能陽(yáng)技術(shù)大吞吐量和顯示面板制造，我們都可以提供解決方案。

羅茨泵機(jī)組 - 干式、油式的多級(jí)泵

優(yōu)勢(shì)

• 干燥無(wú)油的吸入室
• 這些解決方案提供了泵容量和高可靠性。

應(yīng)用

• 鍍膜
• 冶金
• 真空干燥
• 脫氣
• 光伏
• 研發(fā)
• 化學(xué)工業(yè)

• 將傳統(tǒng)羅茨泵與油潤(rùn)滑旋片泵相結(jié)合。這些泵組提供良好的真空度，同時(shí)有較高的抽速。將旋片泵與羅茨泵結(jié)合以獲得泵組，這種方式可謂經(jīng)典解決方案，可以實(shí)現(xiàn)真空室的快速排空和中高真空下的工藝氣流傳輸。對(duì)于許多行業(yè)工藝而言，使用油封前級(jí)泵仍然是的選擇，因?yàn)榫唾?gòu)買價(jià)格以及產(chǎn)品生命周期成本而言，它代表了耐用和成本效益的解決方案。

  優(yōu)勢(shì)

• 從基本的泵系統(tǒng)到全面的泵系統(tǒng)，
• 泵容量和高可靠性

• 應(yīng)用

• 裝載互鎖
• 鍍膜
• 冶金
• 研發(fā)
• 一般工業(yè)應(yīng)用