C61型氣體質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能優(yōu)秀，價(jià)格適中。
±2％F.S.的準(zhǔn)確度
±0.2％F.S.的高重復(fù)精度
穩(wěn)定性和可靠性高
概要
C61型氣體質(zhì)量流量控制器和C61M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能優(yōu)秀，價(jià)格適中。
特點(diǎn)
±2％F.S.的準(zhǔn)確度
±0.2％F.S.的高重復(fù)精度
穩(wěn)定性和可靠性高
滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
應(yīng)用
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測試設(shè)備
主管道氣體的控制與計(jì)量
標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)定氣體：氮?dú)?N2)
標(biāo)定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術(shù)參數(shù)
基本型號 | C61 | C61M |
|---|---|---|
流量規(guī)格1(N2標(biāo)定) | 0～30,50,100,150,200,250 SLM | 0～30,50,100,150,200,250 SLM |
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ±2％F.S. | |
線性 | ±2％F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤5sec | ≤3sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.3MPa (≤100SLM) | 0.02MPa～2MPa (≤100SLM) |
0.15～0.3MPa (＞100SLM) | 0.05MPa～2MPa (＞100SLM) | |
zui大耐壓 | 2MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 4～20mA或1～5V | |
供電電源要求 | 24VDC(400mA) | 24VDC(100mA) |
對外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM | |
管道接頭尺寸 | 雙卡套型接頭：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm | |
外形尺寸 | 長×寬×高：182×40×125 mm | 長×寬×高：157×40×125 mm |
凈重量 | 2.26kg | 1.16kg |
外型尺寸
