C50M型氣體質量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能優(yōu)秀，價格適中。
±1％F.S.的準確度
±0.2％F.S.的高重復精度
響應時間快
概要
C50M型氣體質量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能優(yōu)秀，價格適中。
特點
±1％F.S.的準確度
±0.2％F.S.的高重復精度
響應時間快
穩(wěn)定性和可靠性高
滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應用于大多數(shù)腐蝕性氣體
同類產(chǎn)品尺寸zui小
安裝尺寸兼容
應用
真空鍍膜設備
微反應裝置
晶體制備設備
混氣配氣設備
燃燒測試設備
氣相色譜儀及其它分析儀器
標定標準
標定氣體：氮氣(N2)
標定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術參數(shù)
基本型號 | C50 | C50M |
|---|---|---|
流量規(guī)格1(N2標定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM | ||
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準確度 | ±1％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
線性 | ±0.5％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
0.1～0.3MPa (＞10SLM) | ||
zui大耐壓 | 3MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) | 0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) | |
介質接觸材質 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” | |
雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×100 mm | |
凈重量 | 0.88kg | 0.72kg |
