C30M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測量值。
±1％F.S.的準(zhǔn)確度
±0.2％F.S.的高重復(fù)精度
響應(yīng)時(shí)間快
概要
C30型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測量值。
本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制，性價(jià)比高，是同類產(chǎn)品中的一款。
特點(diǎn)
國內(nèi)同類產(chǎn)品
穩(wěn)定性和可靠性高
±0.2％F.S.的高重復(fù)精度
滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
同類產(chǎn)品尺寸zui小
安裝尺寸兼容
應(yīng)用
真空鍍膜設(shè)備
微反應(yīng)裝置
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測試設(shè)備
氣相色譜儀及其它分析儀器
標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)定氣體：氮?dú)?N2)
標(biāo)定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術(shù)參數(shù)
基本型號(hào) | C30 | C30M |
|---|---|---|
流量規(guī)格1(N2標(biāo)定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0～1,2,3,5,10 SLM | ||
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (5～100)％F.S. 或20:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ±1.5％F.S. | |
線性 | ±1.5％F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤6sec | ≤2sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
zui大耐壓 | 3MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號(hào) | 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) | 0～+5.00V (無輸入信號(hào)，輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” | |
雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×100 mm | |
凈重量 | 0.88kg | 0.72kg |
