等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測儀
布賴特光學(xué)系統(tǒng)是通過HORIBA Jobin Yvon制造的一個(gè)巨大的,直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實(shí)現(xiàn)的。
等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測儀凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡易光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu),并且可以zui小化因?yàn)殓R面及其他反射面造成的反射損失。
等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測儀背光式CCD可以達(dá)到高量子效率,確保從紫外光到可見光之間的寬波段范圍內(nèi)獲得穩(wěn)定的分光鏡使用。高靈敏度的測量在紫外光波段,特別是在那些較少受到干擾影響的波長范圍,使終點(diǎn)監(jiān)測成為可能。應(yīng)制程控制的要求,此軟件可以執(zhí)行多種工序,從等離子體現(xiàn)象分析到測量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫創(chuàng)建和生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程遙控。測量工序的可編程架構(gòu)設(shè)計(jì)使其可以對多重監(jiān)測和時(shí)序處理進(jìn)行設(shè)定。它賦予檢測器不僅可以被用于終點(diǎn)監(jiān)測,同時(shí)也可以被廣泛的用于等離子體環(huán)境下的監(jiān)測。這是一種對于等離子體異常情況進(jìn)行報(bào)警的*設(shè)計(jì),也可以通過利用2種波長之間的變換系數(shù)來指導(dǎo)終點(diǎn)測量,全回收功能,一旦收集到光譜學(xué)的數(shù)據(jù)后,對制程優(yōu)化或者終點(diǎn)監(jiān)測的模擬可以通過應(yīng)用新的制程設(shè)計(jì)反復(fù)進(jìn)行。一個(gè)用于識(shí)別等離子中發(fā)光類別的數(shù)據(jù)庫已經(jīng)包含在內(nèi),光譜學(xué)數(shù)據(jù)可以轉(zhuǎn)換成一個(gè)時(shí)距記錄曲線圖,或者可以通過屏幕格式,把操作波形,比對參考數(shù)據(jù)獲得的相對計(jì)算波形和其他信息顯示出來。專為時(shí)間記錄圖分析而準(zhǔn)備的自動(dòng)圖形軟件