遼寧研生科技有限公司是壓電納米定位超精密位移臺(tái)的專業(yè)制造商。

壓電物鏡定位器 壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國(guó)制造

壓電物鏡定位器 納米定位 聚焦掃描 納米級(jí)物鏡定位器║P21系列

行程：Z560μm

壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國(guó)制造

產(chǎn)品介紹：

P21系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái)，掃描臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，聚焦行程可達(dá)560微米，平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了平臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器，可適配多種型號(hào)的物鏡。

壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國(guó)制造

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器；

◆ 超大掃描行程；

◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，快速響應(yīng)；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國(guó)制造

產(chǎn)品應(yīng)用：

三維成像技術(shù)　•　篩選　•　干涉　•　計(jì)量　•　磁盤驅(qū)動(dòng)器測(cè)試　•　自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)　•　共聚焦顯微鏡　•　半導(dǎo)體測(cè)試　•　生物技術(shù)

       遼寧研生科技有限公司的納米級(jí)精密定位產(chǎn)品類型豐富，運(yùn)動(dòng)自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運(yùn)動(dòng)行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結(jié)構(gòu)類型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。