遼寧研生科技有限公司是壓電納米定位超精密位移臺的專業(yè)制造商。
壓電物鏡定位器 壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國制造
壓電物鏡定位器 納米定位 聚焦掃描 納米級物鏡定位器║P21系列
行程:Z560μm
壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國制造
產(chǎn)品介紹:
P21系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,聚焦行程可達560微米,平臺內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,確保了平臺具有的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器,可適配多種型號的物鏡。
壓電物鏡掃描器 壓電陶瓷物鏡 壓電納米定位 中國制造
產(chǎn)品特點:
◆ 結構緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器;
◆ 超大掃描行程;
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng),快速響應;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
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產(chǎn)品應用:
三維成像技術 • 篩選 • 干涉 • 計量 • 磁盤驅(qū)動器測試 • 自動對焦系統(tǒng) • 共聚焦顯微鏡 • 半導體測試 • 生物技術
遼寧研生科技有限公司的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富,運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ],運動行程從幾微米至幾千微米,承載能力從幾百克至幾百千克,推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓,具有多種結構類型如疊堆式結構、嵌套式結構以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結構等,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。