遼寧研生科技有限公司是壓電陶納米定位超精密位移臺(tái)的專(zhuān)業(yè)制造商。
壓電偏擺鏡 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 壓電納米定位臺(tái) 二維擺角120mrad 中國(guó)制造
超大擺角θXθY120mrad 壓電偏擺鏡 壓電納米定位臺(tái) ║P35系列
二維納米級(jí)光束 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 ║P35系列
行程:θXθY120mrad
P35系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的二維納米級(jí)精密光束壓電偏擺鏡,壓電偏擺鏡內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn),超大偏轉(zhuǎn)角設(shè)計(jì),偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)120mrad,壓電偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了壓電偏擺鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。壓電納米定位臺(tái)緊湊型設(shè)計(jì),可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中??筛鶕?jù)用戶(hù)需求定制安裝及出線(xiàn)方式。
壓電偏擺鏡 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 壓電納米定位臺(tái) 二維擺角120mrad 中國(guó)制造
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成;
◆ 采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng),具有超高的導(dǎo)向精度;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇,可提供定制安裝及出線(xiàn)方式。
壓電納米定位臺(tái) 二維擺角120mrad 中國(guó)制造
產(chǎn)品應(yīng)用:
圖像處理/穩(wěn)定 • 隔行掃描,抖動(dòng) • 激光掃描 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 激光通信 • 光過(guò)濾/轉(zhuǎn)換 • 納米定位
遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、壓電納米定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺(tái)、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等幾十個(gè)系列產(chǎn)品。
研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應(yīng)用于前沿領(lǐng)域科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造與檢測(cè)、生物顯微成像、精密光學(xué)系統(tǒng)、光電子對(duì)準(zhǔn)與封裝、光學(xué)跟蹤與掃描、超精密加工、*自動(dòng)化等領(lǐng)域。廣泛服務(wù)于各高校、科研院所以及各類(lèi)制造光學(xué)顯微檢測(cè)設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體IC設(shè)備、測(cè)量/檢測(cè)儀器、光電設(shè)備、光學(xué)儀器、醫(yī)療設(shè)備、特種精密加工等的高精密裝備制造商。
研生科技的納米級(jí)精密定位產(chǎn)品類(lèi)型豐富,運(yùn)動(dòng)自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ],運(yùn)動(dòng)行程從幾微米至幾千微米,承載能力從幾百克至幾百千克,推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓,具有多種結(jié)構(gòu)類(lèi)型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí),主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平,可*地替代進(jìn)口產(chǎn)品。