XRD全稱x射線衍射儀（X-RayDiffraction）,利用X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象來獲得衍射后X射線信號特征，經(jīng)過處理得到衍射圖譜。利用譜圖信息不僅可以實現(xiàn)常規(guī)顯微鏡的確定物相，并擁有“透視眼”來看晶體內(nèi)部是否存在缺陷（位錯）和晶格缺陷等。

 

    XRD衍射儀的適用性很廣，通常用于測量粉末、單晶或多晶體等塊體材料，并擁有檢測快速、操作簡單、數(shù)據(jù)處理方便等優(yōu)點，是一個標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)的“良心產(chǎn)品”。

 

    X射線衍射發(fā)現(xiàn)以來近百年中x射線衍射儀的發(fā)展情況,大致可以劃分為四個階段:

 

    ①早期的照相機(jī)階段,特點是以照相底片做探測記錄器,底片可同時記錄許多衍射線,測角器構(gòu)造簡單;

 

    ②中期的衍射儀階段,特點是用計數(shù)器做探測器,大大提高了衍射強(qiáng)度的測量準(zhǔn)確性,但要逐個記錄衍射線,測角器構(gòu)造復(fù)雜,電子技術(shù)的應(yīng)用提高了此階段儀器的自動化程度;

 

    ③近代的電子計算機(jī)衍射儀階段,特點是現(xiàn)代計算機(jī)與X射線衍射儀的結(jié)合,提高了衍射儀的自動化程度和檢驗?zāi)芰?并增加了數(shù)據(jù)分析能力,大大促進(jìn)了X射線衍射術(shù)的發(fā)展;

 

    ④現(xiàn)代的多功能衍射儀階段,現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展對X射線檢驗提出了新的要求,發(fā)展出一些新的X射線技術(shù),如小角散射、薄膜衍射、反射率測定和微區(qū)分析等,把多種不同功能集為一體的多功能x射線衍射儀就此誕生。