氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏也是無損檢測（X射線、渦流、超聲等）的多種方法中的一種，是壓力容器無損檢測的最佳形式。廣泛應(yīng)用于航天、航空、核電、電子零部件、真空設(shè)備、電真空、電力、石化、半導(dǎo)體前道、空調(diào)制冷等新技術(shù)的領(lǐng)域。

 

    一．概述

 

    泄漏的檢查，存在著各種各樣的方式，其中之一便是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的檢查方式。利用氦氣作為示蹤氣體，來對各種容器的泄漏、微漏和滲漏(包括材料本身的)進(jìn)行檢測。使用氦氣進(jìn)行檢漏是考慮到氦氣具有以下一些優(yōu)點(diǎn)：（不用氫氣，因?yàn)闅錃庥锌扇伎杀奈ｋU(xiǎn)性）

 

    氦氣在空氣中含量非常少，只有5ppm（空氣中占約1/200，000）；

 

    在被測試的物體內(nèi)部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少；

 

    由于氦分子量小、分子直徑?。ㄔ谠刂芷诒碇性趦H排在氫的后面），即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過；

 

    由于具有化學(xué)上的不活躍性，不會(huì)污染排氣系統(tǒng)及被測試物體；

 

    由于具有對人體無害性和不可燃爆性，因此使用安全方便；

 

    對分析管的分辨率要求并不高，容易實(shí)現(xiàn)高靈敏度；

 

    不存在環(huán)境污染問題。

 

    二．氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理及主要組成部分

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來的正離子經(jīng)過電場加速聚焦通過縫隙進(jìn)入均勻磁場，離子束在磁場力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。

 

    三．氦質(zhì)譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法

 

    在壓力容器中，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），吸槍法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。

 

    （一）噴氦法

 

    噴氦法是最常用，最方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴槍向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦質(zhì)譜檢漏儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。