氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)，是一款全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

 

    1.采用便攜式設(shè)計(jì)2.設(shè)備外型美觀小巧3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)4.有通訊接口5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦質(zhì)譜檢漏儀的使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃相對(duì)濕度：<80%供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz最大工作電流：10A

 

    氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。

 

    在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器;由抑制柵、收集極及高阻組成收集器;第一級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。質(zhì)譜室的工作原理如圖3所示。

 

    在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可按式(5)計(jì)算。

 

    可見(jiàn)質(zhì)譜檢漏儀，當(dāng)B和U為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)2]恰好通過(guò)出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái);而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2，所以被分離出來(lái)。(me-1)2=4，即He+的質(zhì)荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。