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 矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)能根據(jù)用戶的需求提供的在線流量計量。傳感器系采用矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司*的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有*的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對不同的應(yīng)用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
    不同于其它MEMS傳感技術(shù)，矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司在單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。
    矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝，從而增加了其應(yīng)用的廣泛性。