矽翔微機電系統(tǒng)有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）成立于2003年，公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產(chǎn)品化的廠商。其核心部件一MEMS流量芯片及其封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統(tǒng)的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達65m/sec。針對不同的應(yīng)用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
    不同于其它MEMS傳感技術(shù)，矽翔微機電系統(tǒng)有限公司在單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。
    矽翔微機電系統(tǒng)有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝，從而增加了其應(yīng)用的廣泛性。  
    矽翔公司基于MEMS 技術(shù)的流量芯片廣泛應(yīng)用于醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備，工業(yè)制造業(yè)用氣測量及過程控制，環(huán)保等多個領(lǐng)域；在醫(yī)院中心供氧、制氧設(shè)備、分床計費系統(tǒng)，食品加工，科學(xué)氣體分析儀器，樓宇自控，民用健身、保健設(shè)備等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用；在全新的燃料電池等*科技領(lǐng)域亦有不可替代的應(yīng)用。 目前，產(chǎn)品已銷售到美國、日本、歐洲、南美、大洋洲、東南亞等多個國家和地區(qū)。
    矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計》起草單位之一。 以此同時，我們對產(chǎn)品要求也是：

品質(zhì)保障 
        嚴(yán)格的品質(zhì)管理體系來保障每一產(chǎn)品的質(zhì)量是矽翔公司的首要任務(wù)。
    用戶* 
        竭力滿足客戶的需求并使產(chǎn)品及其服務(wù)與客戶的應(yīng)用達到*的結(jié)合是矽翔公司的首要任務(wù)。
    技術(shù)* 
        為客戶提供*水平的產(chǎn)品是矽翔公司的基本宗旨。
    質(zhì)量方針 
        創(chuàng)新技術(shù)，*品質(zhì)；信賴服務(wù)，持續(xù)改進。