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芯明天柔性鉸鏈壓電納米定位臺將壓電陶瓷與柔性鉸鏈機構(gòu)相結(jié)合，使得其可達到亞納米級分辨率、百微米級位移行程及亞毫秒級響應時間。柔性鉸鏈機構(gòu)具有高導向精度、結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，與壓電陶瓷相結(jié)合組成的分辨率高、頻響高的壓電納米定位臺，特別適合微納米定位、超高分辨率顯微鏡、激光通信等應用。同時柔性鉸鏈機構(gòu)還可以提供適當?shù)念A緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

1~3維線性壓電納米定位臺

高精度1~3維壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X、Z、XY、XZ、XYZ軸的精密運動，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學顯微成像等系統(tǒng)。

Z軸壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設計，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設計，補償量小，具有較高聚焦穩(wěn)定性。聚焦范圍可達500μm，負載可達500g。分立式螺紋設計，可適配多種型號的物鏡。物鏡定位器裝入顯微檢測或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度。

柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡

芯明天柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡通過壓電陶瓷柔性鉸鏈相結(jié)合進行精密角度調(diào)整，實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，確保其具有較高的運動精度和穩(wěn)定性，可實現(xiàn)亞微弧度分辨率，特別適用于激光光束掃描及激光通信等應用。