P84.X一維X軸壓電宏微復合臺：
P84為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動，再通過控制驅(qū)動電壓，使壓電陶瓷機構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。
P84.X一維X軸壓電宏微復合臺：
宏微復合機構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機構(gòu)完成大范圍精密定位需求。
通過測微頭與壓電微調(diào)機構(gòu)相結(jié)合的方式實現(xiàn)宏微復合機構(gòu)，宏微復合機構(gòu)可以與宏動平臺配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺
P84.X一維X軸壓電宏微復合臺技術(shù)參數(shù)
型號 | P84.X100S | P84.X100K | 單位 | |
運動自由度 | X | X |
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行程范圍 | 13mm+110µm | 13mm+110µm | 粗調(diào)+精調(diào) | |
平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | |
重量 | 400 | 400 | g±5% | |
殼體材料 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
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外形尺寸（長×寬×高） | 140×90×23 | 140×90×23 | mm×mm×mm | |
手動調(diào)節(jié)部分-千分尺 | ||||
粗調(diào)行程范圍 | 13 | 13 | mm | |
粗調(diào)分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | |
導軌 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌 |
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驅(qū)動方式 | 螺紋副（分厘卡） | 螺紋副（分厘卡） |
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千分尺靈敏度 | <2 | <2 | µm | |
臺面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | |
千分尺讀數(shù) | 10 | 10 | （微米/格） | |
千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | |
壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動 | ||||
精調(diào)行程范圍 | 0~120 V，Nominal | 80 | 80 | µm±20% |
-20~150 V，Max | 110 | 110 | µm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - |
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步進/分辨率 | 7 | 2.5 | nm, typ. | |
閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動) | 0.1 | - | %F.S. | |
重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
運動方向推力 | 16 | 16 | N | |
剛度 | 1 | 1 | N/µm±20% | |
承載能力（Z向）* | 500 | 500 | g | |
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
傳感/電壓連接器 | LEMO | LEMO |
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注：壓電驅(qū)動的標稱行程是在 0~120V 的驅(qū)動電壓下的位移行程，大驅(qū)動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在
0~120V。
以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設(shè)備有關(guān)。參數(shù)更新不予通知，具體請與銷售工程師聯(lián)系確認。
