目錄:長(zhǎng)沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司>>探針臺(tái)系統(tǒng)>>真空探針臺(tái)系統(tǒng)>> Apollowave MJ-3000 阿波羅 無(wú)液氮真空低溫探針臺(tái)系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2022-07-15 13:26:57瀏覽次數(shù)：237評(píng)價(jià)
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液體窒素不要！ 冷?加溫真空チャンバ
MJ-3000は、半導(dǎo)體材料等の各特性を測(cè)定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷凍機(jī)を?qū)g裝した、小型軽量の冷?加溫真空チャンバーです。液體窒素を用意する必要がなく、手軽に－180℃～＋100℃まで試料を溫度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭載されていますので、真空中で自由に深針移動(dòng)が可能です。
| ４深針の外部操作型ポジショナーを搭載し、大気開放せずに真空中で深針移動(dòng)ができます。 | |
従來(lái)の裝置と違い、加熱ステージとパルスチューブ冷凍機(jī) ※ が搭載されており、液體窒素を用意する必要がなく、長(zhǎng)時(shí)間の作業(yè)でも酸欠（酸素欠乏癥）の心配がありません。 | |
| 試料を－180℃～＋100℃まで溫度可変することができ、一定溫度狀態(tài)の試料測(cè)定が長(zhǎng)時(shí)間可能となっています。 | |
| チャンバー上蓋はヒンジ開閉式で110°開きますので、試料へのアクセスがスムーズにできます。 | |
| ビューイングポート（回転式遮光蓋付屬）が標(biāo)準(zhǔn)裝備されており、光照射および顕微鏡を使用しての試料観測(cè)、探針移動(dòng)、遮光に便利です。 |
MJ-3000基本仕様
溫度ステージ部 | |
溫度精度（ステージ溫度） | ±１℃（ホールド狀態(tài)） |
振動(dòng) | 約２μｍ以下 |
材料 | 銅（レーデント＜黒＞） |
寸法 | □33mm（接地タイプ） |
試料有効寸法 | □25mm |
溫度範(fàn)囲 | － 180℃～＋ 100℃（Max.） |
センサー | PT100（4 線式） |
ヒーター | セラミックスヒーター |
試料押え | ４個(gè) |
真空チャンバー部 | |
真空度 | 10 － 2 Pa 以上（真空ポンプに依存します） |
ビューポート | 石英ガラスφ 79 × t4mm（覗き有効徑66 φ） |
ポジショナーポート | 外部操作型用：４個(gè) |
予備端子ポート | 1個(gè) |
リークバルブポート | 1/ ４" スウェージロック：1 個(gè) |
センサーポート | ICF34：１個(gè) |
ヒーターポート | ICF34：１個(gè) |
ゲージポート | NW25：１個(gè) |
予備ポートえ | NW25：１個(gè) |
真空引口 | NW40：１個(gè) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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