目錄:長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司>>探針臺(tái)系統(tǒng)>>手動(dòng)探針臺(tái)>> Apollowave α-100 阿波羅微波4英寸手動(dòng)探針臺(tái)
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更新時(shí)間：2022-07-15 13:15:50瀏覽次數(shù)：202評(píng)價(jià)
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1 探針臺(tái)主機(jī)：α-100
1.1 適用： 4英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸： 粗調(diào)行程：100mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：13mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：120mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：13mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z軸： 移動(dòng)量：5mm
粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)
微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)
1.5 θ軸： 移動(dòng)量：±10°以上
1.6 平行度： 對(duì)載物臺(tái) 30um以內(nèi)
1.7 尺寸： 400（W）×360（D）×330（H） 不含突出部
1.8 重量： 約25kg
1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）
1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）
| ?Achieve the smooth stage movement with quick |
| position |
| ?Smooth workability with 3 steps switching for Z lever |
| ?Adopted the free arm that enables the microscope |
| to operate with wide range |
| ?Enable to upgrade the hot chuck and other |
| accessories by easy replacement function, |
| ?It can be customized with variety of options |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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