目錄:長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司>>探針臺系統(tǒng)>>探針臺配件>> APOLLOWAVE 4/6/8/12寸載物臺（可加熱）探針臺 高低溫超低噪聲
載物臺：
4寸普通載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 4英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 200A Pluse
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 接觸電阻： 小于15mΩ（20A，純金測試板）
2.8 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
6寸普通載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 6英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 200A Pluse
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 接觸電阻： 小于15mΩ（20A，純金測試板）
2.8 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
8寸普通載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 8英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 200A Pluse
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 接觸電阻： 小于15mΩ（20A，純金測試板）
2.8 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
12寸普通載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 12英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 200A Pluse
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 接觸電阻： 小于15mΩ（20A，純金測試板）
2.8 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
4寸加熱載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 4英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 7A DC
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 溫度范圍： RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加熱方式： 電加熱，1200W
2.9 冷卻方式： 空冷（需壓縮空氣）
2.10 溫度控制： 載物臺內置式CA熱電偶，精度為顯示溫度的±1%以內
2.11 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
6寸加熱載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 6英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 7A DC
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 溫度范圍： RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加熱方式： 電加熱，1200W
2.9 冷卻方式： 空冷（需壓縮空氣）
2.10 溫度控制： 載物臺內置式CA熱電偶，精度為顯示溫度的±1%以內
2.11 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
8寸加熱載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 6英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 7A DC
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 溫度范圍： RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加熱方式： 電加熱，1200W
2.9 冷卻方式： 空冷（需壓縮空氣）
2.10 溫度控制： 載物臺內置式CA熱電偶，精度為顯示溫度的±1%以內
2.11 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
12寸加熱載物臺
2.1 尺寸： 210mm
2.2 測試對象： 12英寸及以下晶圓或芯片
2.3 固定方式： 真空吸附
2.4 耐電壓： 20kV
2.5 耐電流： 7A DC
2.6 載物臺導電： 可（適用縱向排列晶粒） / 不可
2.7 溫度范圍： RT – 200℃ / 300℃ / 350℃
2.8 加熱方式： 電加熱，1200W
2.9 冷卻方式： 空冷（需壓縮空氣）
2.10 溫度控制： 載物臺內置式CA熱電偶，精度為顯示溫度的±1%以內
2.11 接線口： 香蕉頭接口（適用巖通CS系列）
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