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所 在 地湘潭市
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更新時(shí)間：2016-08-18 17:24:50瀏覽次數(shù)：528次
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一、氣相沉積設(shè)備一般是通過一定的氣體與之發(fā)生氣—固或氣—液反應(yīng)，形成適當(dāng)?shù)臍鈶B(tài)組分，將產(chǎn)生的氣態(tài)組分輸送入反應(yīng)室，在這些反應(yīng)物載入沉積區(qū)之前，一般不希望它們之間相互反應(yīng)，因此，在低溫下會相互反應(yīng)的物質(zhì)在進(jìn)入沉積區(qū)之前應(yīng)隔開。
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