HET-1型多功能二維材料轉移平臺

產品介紹

HET-1型二維轉移平臺適用于石墨烯、各類過渡金屬化合物、黑磷等多種單層及其多層二維材料的精確定位轉移及范德瓦爾斯異質結的準確制備，實現了低維材料轉移的精確可視化操作。本套轉移平臺由轉移臺模塊、樣品臺模塊、顯微觀測模塊結構、溫控模塊等組成。該平臺是研究低維材料性質、范德瓦爾斯異質結構中低溫物理特性、低維材料中表面界面物理性質的有力工具。

產品特點

轉移臺模塊:包含XYZ三維移動臺+旋轉臺+俯仰臺；XY向：行程±6.5 mm，精度10 μm；Z向：行程±5 mm，精度0.5 μm；旋轉臺：粗調360°，細調5°，精度1°；俯仰臺：范圍±20°，最小讀數5′

樣品臺模塊:XYZ三維移動臺+旋轉臺+帶真空吸附的加熱臺；轉移臺：精度低至10 μm；旋轉臺：可360°旋轉，精度1°；加熱臺：室溫 ~ 250 ℃

顯微觀測模塊:金相顯微鏡：配置10X、20X、50X超長焦物鏡；配置CMOS成像系統(tǒng)及相應軟件，綜合放大倍數為576~2880倍；預留鉸鏈式雙目觀察筒，支持配置10X目鏡；配置濾波片，支持調光；配備粗微調焦裝置，微調精度2 μm

溫控模塊:高精度PID程序控溫，溫度可達250 ℃，精度0.1 ℃，升溫速率2 ℃/s （at 150 ℃）

技術說明

典型應用：基于低維材料及其異質結的晶體管、光電探測器、光伏器件等微納電子與光電子器件

臺體設計：采用進口精密機械臺體，結構緊湊，支持放置于手套箱中

防震設計：底座配備蜂窩內核三層夾心防震光學平臺及隔振阻尼墊

結構設計：轉移臺及樣品臺支持面內旋轉，方便樣品進行對準轉移

真空吸附：低噪泵體流量 30 L/min，保證樣品吸附

選配功能：樣品臺可集成Z軸電動控制模塊，支持集成無線控制，手套箱外用按鍵調控樣品臺升降

應用案例：