臺(tái)

體

尺寸

4英寸

6英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程

2英寸*3英寸

X-Y移動(dòng)精度

10微米

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)

左右各一個(gè)針座平臺(tái)，多可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

顯

微

鏡

顯微鏡類(lèi)型

單筒顯微鏡/體視顯微鏡

放大倍率

16X-200X

移動(dòng)行程

水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源

外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD

200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

探

針

座

X-Y-Z移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探

針

夾

具

線(xiàn)纜

同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn)

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類(lèi)型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子

探

針

針尖直徑

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

外形

400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高

重量

約20千克

可選附件

加熱臺(tái)

屏蔽箱

顯示器

光學(xué)平臺(tái)

轉(zhuǎn)接頭

鍍金卡盤(pán)

射頻測(cè)試配件

光電測(cè)試配件

根據(jù)客戶(hù)要求定制